在精密機械零部件加工過程中，為了提高氣浮導(dǎo)軌的運動性能,，可以采用以下三種方法,。首先是提高導(dǎo)軌在承載方向上的剛度,，導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)設(shè)計上采用閉式導(dǎo)軌，這比單面可提高剛度2倍,；減小氣浮間隙,；并增大力封閉，氣源需穩(wěn)壓供氣,、清潔供氣,，減小可能發(fā)生的振蕩因素,。
在供氣回路中要設(shè)計載荷補償機構(gòu)及自動調(diào)壓裝置使氣浮間隙變化很小，壓力彈簧和滾輪控制氣浮間隙,；或者合理布局氣墊讓其自動平衡調(diào)整,，對高精度測量機，氣浮的精度應(yīng)在0.001-0.002mm以內(nèi),。
其次可以提高導(dǎo)軌運動時的阻尼力，氣墊的孔越多阻尼力越大,，剛性也越大，如果采用粉末治金多孔材料作為氣墊,，用大面積的微孔代替小孔節(jié)流氣墊，阻尼力會更大,。在精密機械零部件加工允許的情況下，可以采用氣-液雙相潤滑,，由于導(dǎo)軌接觸面上有油膜存在而增加了阻尼力。
還可以采用半氣浮導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)形式,，坐標機為氣浮導(dǎo)軌和機械導(dǎo)軌相結(jié)合的形式，利用了兩種導(dǎo)軌運動特性的優(yōu)點,，不僅提高了抗端動的能力，又保持了氣浮導(dǎo)軌間隙恒定,，且增加了導(dǎo)軌運動的阻尼力,，從而提高了導(dǎo)軌的運動性能,。
通常精密機械零部件加工，機床不適合在污濁和高溫潮濕的環(huán)境中工作,，電網(wǎng)供電環(huán)境也有較高的要求,，機床供電電壓不應(yīng)劣于±10%,，三相應(yīng)平衡穩(wěn)定。過于惡劣的電網(wǎng)****加裝穩(wěn)壓電源,，機床除正常的保持整潔和潤滑以外，還****用心維護及其的各個部件,。